晶圓顯微鏡性能特點:
1、可選購 2000 萬彩色數(shù)字成像系統(tǒng),采用進口 SONY 一英寸全面幅芯片,分辨率 5440*3648,USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信,細膩逼真的圖像畫質(zhì),良好的顏色還原性能,安裝方便
2、成像測量軟件:帶拍照、錄像、幾何測量、圖像拼接、景深拓展等功能,軟件界面簡潔,容易上手
3、配置明暗場專用金相物鏡,成像效果更通透
4、粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu),粗動松緊可調(diào),帶限位鎖緊裝置,微動格值:2μm
5、 可選購進口歐司朗照明光源, 顏色還原真實,使用壽命長
6、280mm×270mm 大平臺,移動范圍 204*204mm,適合放置大尺寸樣品
晶圓顯微鏡參數(shù):
1、鏡筒:鉸鏈式雙目頭部,主機含三目鏡筒(T),30 度傾斜的鉸鏈式鏡筒,瞳距調(diào)節(jié)范圍為 55-75mm。即使長時間觀察,也能確保使用者操作舒適,無疲勞感
2. 、攝影時 100%分光,適合低照度成像
3.、大視野高眼點目鏡:WF10X(視場數(shù) 22mm,視度可調(diào)
4.、無限遠明暗場平場消色差金相物鏡:
5X/0.12 工 作 距 離 :(Work distance):9.70mm
10X/0.25 工作距離(Work distance):9.30 mm
20X/0.40 工作距離(Work distance):7.20mm
50X/0.70 工作距離(Work distance):2.50mm
100X/0.85 工作距離(Work distance):0.80mm
5、轉(zhuǎn)換器:五孔明暗場專用轉(zhuǎn)換器
6、光學放大倍數(shù):50-1000 倍
7、工作臺:三層機械移動平臺,硬膜涂層表面,防腐、耐磨;載物臺外形尺寸 280mm×270mm,移動范圍 204mmX204mm
8、調(diào)焦:粗微動同軸,升降范圍 22mm,微動格值 0.0008mm,帶松緊和限位裝置
9、反射照明:采用進口歐司朗大功率 50W 鹵素燈照明,亮度可調(diào),帶偏振片,翻蓋式燈箱,更換燈泡方便安全;為操作者提供充足亮度,以滿足各種情況下的樣本觀察。帶可變光欄裝置、調(diào)中裝置,保 證視場照明均勻。可配偏光觀察裝置
10、濾色片:轉(zhuǎn)盤式濾色片座,方便快速切換不同顏色,調(diào)節(jié)方便
11、正交偏光裝置 :內(nèi)置式可切換偏光觀察裝置,起偏器可 360°旋轉(zhuǎn);偏光功能,對材料表面的雜散光可以起到過濾作用,避免雜散光對樣品細節(jié)的干擾,或者可以對晶體等有偏光特性的樣品進行觀察
12、可選購 2000 萬彩色數(shù)字成像系統(tǒng),采用進口 SONY 一英寸全面幅芯片,分辨率 5440*3648,USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信,帶拍照、錄像、幾何測量、圖像拼接、景深拓展等功能,軟件界面簡潔